①近日,日本佳能公司宣布推出FPA-1200NZ2C纳米压印半导体制造设备,该设备执行电路图案转移,是重要的半导体制造工艺,未来有望对应2nm节点。
②据悉,纳米压印技术是传统复杂光学光刻技术的替代解决方案,在集成电路领域的应用可实现更低成本的芯片量产。
①近日,日本佳能公司宣布推出FPA-1200NZ2C纳米压印半导体制造设备,该设备执行电路图案转移,是重要的半导体制造工艺,未来有望对应2nm节点。
②据悉,纳米压印技术是传统复杂光学光刻技术的替代解决方案,在集成电路领域的应用可实现更低成本的芯片量产。